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真空快速退火爐
更新時間： 2020-07-17
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產品報價：
產品簡介： 真空快速退火爐操作便捷，電熱元件采用紅外燈管，升溫速度快，節省時間，滑動法蘭使裝卸樣品過程簡化，方便操作，可快速得到實驗結果，取消了反復的法蘭安裝過程，減少了爐管因安裝造成的損壞。
詳細資料：
真空快速退火爐產品特點：
1 控制電路選用模糊PID程控技術，該技術控溫精度高，熱慣性小，溫度不過沖，性能可靠，操作簡單。
2 氣路快速連接法蘭結構采用本公司*的知識產權設計,提高操作便捷性。
3 中真空系統具有真空度上下限自動控制功能，高真空系統采用高壓強，耐沖擊分子泵防止意外漏氣造成分子泵損壞，延長系統使用壽命。
產品組成：
此款CVD系統配置：
1.1200度開啟式真空管式爐（可選配單溫區、雙溫區）。
2.多路質量流量控制系統
3.真空系統（可選配中真空或高真空）
真空快速退火爐技術參數：
| 產品名稱 | RTP系列-滑動式快速退火爐 |
| 產品型號 | RTP-G06123K-H |
| 額定功率 | 9KW |
| 額定電壓 | 220AC 50/60Hz |
| 極限溫度 | 1000℃ |
| 連續工作 | 950℃(<1 小時) |
| 加熱區長度 | 250mm |
| 恒溫區長度 | 200mm |
| 加熱元件 | 紅外燈管 |
| 溫度控制 | 國產程序控溫系統可編程50段程序控溫； |
| 控制精度 | ±1℃ |
| 石英管尺寸 | Φ60/Φ80/Φ100mm |
| 爐管材質 | 石英管 |
| 滑動距離 | 300mm |
| 大降溫速度 | 900~200℃的降溫速度:15min |
| zui快升溫速度 | 50ºC/S |
| 滑動控制 | 由溫度控制器自動控制爐體移動. 當程序完成，爐體按設定的速度滑動。 |
| 流量計 | 浮子流量計60-600ml/min |
| 滑軌尺寸 | 360 x1300x265mm |
| 外形尺寸 | 360x385x595mm |
| 重量 | 85Kg |
| 標準配置 | 氣路總成一套（含真空壓力表）石英管一支、石英堵三個、鉤子一把、高溫手套一副。 |
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